(一)深冷空分法由于空氣的液化和精餾是在低溫下進行的,而且溫度低于-120℃,故稱之為深度冷凍空氣分離法,簡稱深冷空分法。此法制氮的基本原理是根據空氣棉合物中O2和N2的沸點不同,運用液化、精儅等手段而將它們分離開來。其分離過程大致為;首先,把空氣中的機械雜質濾除;然后,把空氣壓縮到所需的工作壓力,脫除空氣中的水分、二氣化碳和乙炔等雜質成分,利用熱交換使空氣液化,通過液化空氣的精餾,使之分離并獲得不同純度的氮氣和氧氣等。用深冷空分法將空氣分離為氮氣、氧氣產品的過程,見圖1-2所示。深冷空分法制取的氯氣產品,通常叫工業氮,其純度約在98~99,5%之間,甚至更高。經改進后的制氧機所制得氮氣純度可提高到99,9%以上。深冷空分制氮是一種傳統的制氮方法,但其結構復雜、裝置龐大,操作麻煩,設備投資和管理費用都比較大,所以它一般用于大規模工業制氮。